李皓深諳打人要打臉的道理,只可惜這回他們似乎是沒(méi)臉來(lái),重新又換了一批人。
雖然依舊那般的傲慢,年紀(jì)也是一般的大,但總歸是差了點(diǎn)感覺(jué)。
正當(dāng)李皓都不想搭理他們的時(shí)候,他們卻又主動(dòng)上門(mén)來(lái)找虐。
因?yàn)樵诠饪虣C(jī)研究卡殼在193nm的這些年里,日本和阿斯麥公司選擇了不同的路線。
日本人堅(jiān)持以往思路,繼續(xù)迭代技術(shù),去研發(fā)新的光源,堅(jiān)持在傳統(tǒng)干式微影技術(shù)上一條路走到底。
而阿斯麥則因?yàn)榧尤肓嗣绹?guó)牽頭的EUV聯(lián)盟,就主張使用極紫外技術(shù)生產(chǎn)設(shè)備。
從后面的發(fā)展情況來(lái)看,EUV技術(shù)無(wú)疑更先進(jìn),日本在選擇傳統(tǒng)派陣營(yíng)時(shí),其實(shí)就已經(jīng)輸了。
但事實(shí)上,日本人也并非不愿意嘗試極紫外光技術(shù),而是被美國(guó)別有用心的排除在了門(mén)外。
畢竟即使它們?cè)僭趺丛敢猱?dāng)兒子,也架不住人家的忌憚。
就像是之前的廣島協(xié)議一般,美國(guó)是不會(huì)允許有人來(lái)實(shí)際威脅他們的地位的,即使是干兒子也不行。
只不過(guò)在現(xiàn)如今的階段,因?yàn)榧夹g(shù)儲(chǔ)備的原因,雙方暫時(shí)都沒(méi)有達(dá)成目標(biāo)。
不過(guò)相比于極紫外光技術(shù)依舊存在的很多技術(shù)難關(guān),日本人這里的157nmF2激光的研發(fā)卻已經(jīng)有了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。
所以在這個(gè)時(shí)候,對(duì)于中國(guó)人弄出來(lái)的浸潤(rùn)式光刻機(jī),就讓他們極為排斥。
因?yàn)樗鼈兡軓默F(xiàn)有公布出來(lái)的數(shù)據(jù)中看出來(lái),浸潤(rùn)式光刻機(jī)的后續(xù)開(kāi)發(fā)空間巨大。
只需要調(diào)整光刻膠上面的液體密度,就能將193nm的光波長(zhǎng)折射成需要的精度。
而且最重要的一點(diǎn),這種浸入式方案屬于小改進(jìn)大效果,有著以往的產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn),穩(wěn)定性和開(kāi)發(fā)速度必然都不是它們的新產(chǎn)品能比的。
要知道它們?yōu)榇丝墒峭度肓酥刭Y,一旦先機(jī)被搶走了,那投進(jìn)去的錢(qián)不就全打了水漂。
反觀阿斯麥這里,見(jiàn)到了這臺(tái)光刻機(jī)之后,反應(yīng)也是非常強(qiáng)烈。
隨即就找到了林奔堅(jiān)詢問(wèn)情況,原來(lái)就在今年的早些時(shí)候,他們就已經(jīng)和林奔堅(jiān)取得了聯(lián)系,并最終同意了對(duì)林奔堅(jiān)給的浸潤(rùn)式方案進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
結(jié)果他們這還在實(shí)驗(yàn)中的方案,現(xiàn)在卻見(jiàn)這里已經(jīng)拿出了成品,當(dāng)然就想要問(wèn)清楚。
林奔堅(jiān)對(duì)此也是一頭霧水,好在他腦子里面還有理智,沒(méi)有選擇直接跳出來(lái)。
而是在徐教授發(fā)完言下臺(tái)后,趕忙就帶著阿斯麥的人,找到了徐教授。
「徐教授,我想請(qǐng)問(wèn)你們這個(gè)浸潤(rùn)式方案是從哪里來(lái)的?」
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